設備介紹
標準低溫泵 [12型]
CRYO-U12H
特點
日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U12H維修?
- 適用于中、大規(guī)模生產(chǎn)。
- 熱負荷能力強，可以對應各種工藝。
外形尺寸 (單位:mm)
標準規(guī)格
日本愛發(fā)科標準低溫真空泵CRYO-U12H維修?
| 排氣速度(20℃) | 氮氣 | L/s | 4,000 |
| 氫氣 | 6,000 | ||
| 氬氣 | 3,300 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.0×103(15) |
| 氫氣 | 4.1×102(3.1) | ||
| 排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 2.1×108(1.6×106) |
| 氫氣 | 9.8×105(7.4×103) | ||
| 冷卻降下時間 (電力循環(huán)) | min(Hz) | 85/75(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-300,10BANSI | ||
| 壓縮機裝置 | C30VR | ||
| 質(zhì)量 | Kg | 40.0 | |
*維護間隔：16,000小時
*可移動基座是選購件
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