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產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品名稱: 英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-04-21
產(chǎn)品型號: STP1003 STP1003C
產(chǎn)品特點(diǎn): Edwards STP1003 是新型的渦輪分子泵,可用于良好的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的性能,大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用,并得到了認(rèn)可。英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修 的詳細(xì)介紹

英國愛德華STP1003 、STP1003C DN200CF 進(jìn)氣口

概述

Edwards STP1003 是新型的渦輪分子泵,可用于良好的半導(dǎo)體應(yīng)用。Edwards 的轉(zhuǎn)子技術(shù)可實(shí)現(xiàn)的性能,大的制程靈活性。這種泵已經(jīng)由半導(dǎo)體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設(shè)備制造商投入使用,并得到了認(rèn)可。英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

應(yīng)用

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源,射束線泵送端點(diǎn)站
  • MBE
  • 擴(kuò)散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長
  • 晶片檢查
  • 負(fù)載鎖真空腔
  • 科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理:射束線、加速器
  • 放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋

    功能和優(yōu)勢

    良好的轉(zhuǎn)子技術(shù)  

  • 大的制程靈活性

  • 無油

  • 低振動

  • 高度可靠

  • 免維護(hù)

  • 可用于嚴(yán)苛制程(C 型)

  • 使用壽命延長

  • 良好的控制器設(shè)計(jì)  

  • 自動調(diào)整

  • 自行診斷功能

  • 直流電機(jī)驅(qū)動

  • 無電池運(yùn)行

  • 緊湊型設(shè)計(jì)  

  • 占地面積小

  • 半機(jī)架控制器英國愛德華STP1003 渦輪分子真空泵維修

    技術(shù)數(shù)據(jù)

    入口法蘭ISO200F
    出口KF40
    吹掃口KF10
    抽速 
      N21000 ls-1
      H2800 ls-1
    壓縮比 
      N2>108
      H2>105
    加熱時(shí)的極限壓力(VG/ISO 法蘭)10-7 Pa
     (10-9 Torr)
    加熱時(shí)的極限壓力(ICF 法蘭)10-8 Pa
     (10-10 Torr)
    大連續(xù)出口壓力13 Pa
     (0.1 Torr)
    額定速度35000 rpm
    啟動時(shí)間6 分鐘
    高入口法蘭溫度120 °C
    輸入電壓100 至 120 (± 10) V 交流或
     至 240 (± 10) V 交流
    啟動時(shí)的功耗0.8 kVA
    泵重量31 kg
    控制器重量9 kg

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